近日，廣東皓天檢測儀器有限公司自主研發(fā)的電磁振動實驗臺實現(xiàn)微振幅控制技術(shù)重大突破，其納米級位移控制精度，為芯片級元器件可靠性驗證提供關鍵測試支撐，破解了微電子領域精密振動測試難題。

此次突破使廣皓天電磁振動實驗臺的振幅控制精度躍升至新高度。該設備采用稀土永磁體構(gòu)建均勻氣隙磁場，搭配精度達 0.1nm 的激光干涉位移傳感器，實時捕捉臺面振動軌跡。通過 FPGA 芯片驅(qū)動功率放大器進行微秒級電流修正，形成 “感知 - 計算 - 執(zhí)行" 閉環(huán)系統(tǒng)，將正弦波失真度控制在 0.5% 以下，2000Hz 高頻振動時加速度波動穩(wěn)定在 ±1% 內(nèi)，遠超傳統(tǒng)設備性能。

行業(yè)應用已初見成效。該電磁振動實驗臺已投入廣皓天與哈工大共建的聯(lián)合實驗室，助力航天器熱防護材料、動力電池電極材料等領域的動態(tài)性能研究。目前，多家半導體企業(yè)采用該設備開展芯片可靠性測試，使虛焊、微裂紋等潛在缺陷檢出率提升 40% 以上。