一、拆卸前準備

• 安全斷電：關閉控制系統與電源，拔下電源線；確認電源指示燈熄滅，等待3-5 分鐘讓高壓電容放電。

• 清理臺面：移除樣品與夾具，清潔臺面，防止異物墜落與刮傷。

• 拆除連接線：小心斷開臺面與控制箱的信號線與電源線，做好標記以便復原。

• 準備工具與防護：

  • 專用起吊設備（承重≥臺面重量的1.5 倍）

  • 四支等長吊索（直徑≥10mm）

  • 扭矩扳手（校準至說明書指定值，通常8-10N·m）

  • 水平儀（精度≥0.02mm/m）

  • 防護手套、護目鏡

二、拆卸步驟

• 起吊準備：

  • 確認臺面兩側的四個 Φ40mm 起吊孔清潔無變形。

  • 將吊索分別套入起吊孔，確保受力均衡，避免傾斜。

• 分離定位銷：

  • 緩慢起吊，垂直提升約5cm，使臺面脫離底架定位銷；嚴禁傾斜或側向拉動。

  • 觀察定位銷與定位孔分離狀態，確認無卡阻后繼續提升。

• 

• 吊運與存放：

  • 平穩移動至清潔區域，避免碰撞；下方嚴禁站人。

  • 放置在專用支架或減震墊上，保持水平，防止變形。

三、安裝步驟

• 臺面檢查與清潔：

  • 檢查臺面底部定位孔與表面，確保無變形、裂紋、毛刺。

  • 清潔臺面與底架接觸面，去除灰塵與油污；必要時用無水乙醇擦拭。

• 精準定位安裝：

  • 起吊臺面，對準底架上的六個定位銷（X/Y/Z 軸各兩個）。

  • 緩慢垂直下降，使定位銷落入定位孔，避免磕碰。

  • 輕觸到位后，先不松吊具，進行初步檢查。

• 均勻緊固：

  • 按說明書要求的順序與扭矩（通常8-10N·m）緊固臺面螺栓；建議采用十字交叉法，分次逐步擰緊。

  • 使用扭矩扳手確保緊固均勻，防止受力不均導致振動不均。

• 水平校準：

  • 將高精度水平儀置于臺面中心，沿X 軸、Y 軸方向依次校準。

  • 調節底架地腳螺栓，使氣泡居中，水平度誤差控制在0.05mm/m 以內（設備要求0.01mm/m）。

  • 多點復測（四角與中心），確保臺面全域水平。

• 電氣連接與接地：

  • 按標記接回信號線、控制線與電源線，確保接觸良好。

  • 檢查電磁屏蔽層連接與接地，確保接地可靠（阻抗 <4Ω）。

四、關鍵注意事項

• 禁止事項：

  • 未斷電或未等待3-5 分鐘就拆卸電氣連接。

  • 使用非專用工具或起吊設備進行拆裝。

  • 臺面傾斜、碰撞或劇烈振動。

  • 不按順序或超扭矩緊固螺栓。

• 精密部件保護重點：

  • 定位銷 / 孔：防止變形與損傷，確保同軸度與垂直度，這是軸間精度的關鍵。

  • 電磁驅動系統：避免撞擊臺面底部，防止動圈偏移與磁場不均。

  • 冷卻系統：安裝時避免擠壓或彎折冷卻管道，確保散熱正常。

五、安裝后驗證

• 空載運行檢查：

  • 啟動前檢查所有連接與防護裝置，確認無誤。

  • 以低振幅（≤1mm）、低頻（5-10Hz）運行3-5 分鐘，觀察是否有異常噪音、振動不均或過熱。

  • 停機后再次檢查螺栓緊固情況。